在卷板機的(de)(de)(de)精(jing)度(du)從微米(mi)級到(dao)納(na)米(mi)級的(de)(de)(de)發展(zhan)歷程中(zhong),有三項關鍵技(ji)術無(wu)法回避,這三項技(ji)術也是納(na)米(mi)精(jing)度(du)卷(juan)板(ban)機(ji)的(de)(de)(de)研究門檻。其中(zhong)一(yi)項技(ji)術是無(wu)遲滯的(de)(de)(de)軸承(cheng)技(ji)術,遲滯現(xian)象在機(ji)械系統中(zhong)大(da)量(liang)(liang)(liang)存在,遲滯現(xian)象不僅(jin)嚴重影響卷(juan)板(ban)機(ji)溜板(ban)的(de)(de)(de)運動(dong)定位精(jing)度(du)和重復定位的(de)(de)(de)精(jing)度(du),也影響運動(dong)的(de)(de)(de)高分辨率實現(xian),同(tong)時也影響精(jing)密零件的(de)(de)(de)加工形狀精(jing)度(du)以(yi)及表面粗(cu)糙度(du)。而靜壓(ya)軸承(cheng)技(ji)術可(ke)以(yi)很(hen)(hen)好地解決機(ji)械遲滯的(de)(de)(de)現(xian)象,并且可(ke)以(yi)均(jun)化幾何(he)誤差(cha),在超精(jing)密卷(juan)板(ban)機(ji)中(zhong)得(de)到(dao)大(da)量(liang)(liang)(liang)應用。靜壓(ya)技(ji)術在過去的(de)(de)(de)十年時間里取得(de)了重大(da)進展(zhan),自補償的(de)(de)(de)反饋技(ji)術更為成熟。以(yi)流量(liang)(liang)(liang)控制的(de)(de)(de)節流技(ji)術使靜壓(ya)軸承(cheng)的(de)(de)(de)剛(gang)度(du)得(de)到(dao)很(hen)(hen)大(da)程度(du)的(de)(de)(de)提升(sheng),使超精(jing)密卷(juan)板(ban)機(ji)加工的(de)(de)(de)材料(liao)硬度(du)不斷提高。
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